德国马尔Mahr MarSurf WM 100 3D白光干涉仪，MarSurf WM 100非接触式光学3D表面粗糙度仪

德国马尔Mahr MarSurf WM 100 3D白光干涉仪

MarSurf WM 100光学3D非接触式表面粗糙度仪

高精度光学测量仪 MarSurf WM 100 有亚纳米级分辨率和测量精度。3D 白光干涉仪测量系统。
亚纳米分辨率和测量精确度下有最高精度
适合所有光学和反射表面、精细技术表面和电路板、半导体产品和生物组织表面
2D 表面分析和测量评估
地形学 3D 表面分析和测量评估
快速测量 #96 短测量时间
在最多 4 个轴上手动定位工作台和物体
多种镜头选择，可根据测量对象进行完美调整
采用花岗石底座的稳固型设计
基于 MountainsMap© 的专业评估软件

测量原则
使用干涉仪，白光干涉仪
光源 (WLI)：高功率 LED，505 nm

测量范围 mm
传感器装置在 Z 方向可手动移动 200 mm
载物台在 X 和 Y 方向可手动移动

干涉仪，白光干涉仪：
测量范围(WLI)：最高 100 µm（垂直）
接口       230 V, 50 Hz

机器建造
所有类型纯金属表面（打磨，轧制等），以及激光结构表面、细陶瓷和塑料表面、铸模表面

医疗
植入体、假肢和仪器的金属、陶瓷和塑料表面

电子
涂层表面分析，电子和半导体组件的测量和分析

光学
各种光学组件（所有材料）的粗糙度分析

CT 120 双轴倾斜工作台

设置工作台角 +/- 30°

标准套件

白光干涉仪：
WLI 物镜 2.5x0.075；  5x0.13；  10x0.3；  20x0.4；  50x0.55；  100x0.7

可选：
配备减震器来为纳米和亚纳米范围测量优化减震

传感器系统，包含：
WLI 传感头
相机，768 x 582 像素，最高 48 图像/秒
100 µm Z 轴，带压电驱动
WLI 软件模块，"Inspector" 软件
花岗石底座和立柱，配有手动定位传感器系统
手动 XY 载物台用于测头定位
20x0.4 DI 镜头（白光干涉仪）

干涉仪一直被用于测量表面形状的高精度工具，或者用于量块校准。马尔提供菲索干涉仪和白光干涉仪，其中白光干涉仪可以达到0.1纳米的超高分辨率，用来测量超高精度3D表面粗糙度。