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MarSurf WM 100 3D白光干涉仪,MarSurf WM 100非接触式光学3D表面粗糙度仪

MarSurf WM 100 3D白光干涉仪,MarSurf WM 100非接触式光学3D表面粗糙度仪
  产品详情

MarSurf WM 100 3D白光干涉仪

MarSurf WM 100光学3D非接触式表面粗糙度仪



高精度光学测量仪 MarSurf WM 100 有亚纳米级分辨率和测量精度。3D 白光干涉仪测量系统。
亚纳米分辨率和测量精确度下有最高精度
适合所有光学和反射表面、精细技术表面和电路板、半导体产品和生物组织表面
2D 表面分析和测量评估
地形学 3D 表面分析和测量评估
快速测量 #96 短测量时间
在最多 4 个轴上手动定位工作台和物体
多种镜头选择,可根据测量对象进行完美调整
采用花岗石底座的稳固型设计
基于 MountainsMap© 的专业评估软件

测量原则
使用干涉仪,白光干涉仪
光源 (WLI):高功率 LED,505 nm

测量范围 mm
传感器装置在 Z 方向可手动移动 200 mm
载物台在 X 和 Y 方向可手动移动

干涉仪,白光干涉仪:
测量范围(WLI):最高 100 µm(垂直)
接口       230 V, 50 Hz


机器建造
所有类型纯金属表面(打磨,轧制等),以及激光结构表面、细陶瓷和塑料表面、铸模表面

医疗
植入体、假肢和仪器的金属、陶瓷和塑料表面

电子
涂层表面分析,电子和半导体组件的测量和分析

光学
各种光学组件(所有材料)的粗糙度分析

CT 120 双轴倾斜工作台

设置工作台角 +/- 30°


标准套件

白光干涉仪:
WLI 物镜 2.5x0.075;  5x0.13;  10x0.3;  20x0.4;  50x0.55;  100x0.7

可选:
配备减震器来为纳米和亚纳米范围测量优化减震

传感器系统,包含:
WLI 传感头
相机,768 x 582 像素,最高 48 图像/秒
100 µm Z 轴,带压电驱动
WLI 软件模块,"Inspector" 软件
花岗石底座和立柱,配有手动定位传感器系统
手动 XY 载物台用于测头定位
20x0.4 DI 镜头(白光干涉仪)


干涉仪一直被用于测量表面形状的高精度工具,或者用于量块校准。马尔提供菲索干涉仪和白光干涉仪,其中白光干涉仪可以达到0.1纳米的超高分辨率,用来测量超高精度3D表面粗糙度。

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